產(chǎn)品系統(tǒng)NEWS CENTER
在發(fā)展中求生存，不斷完善，以良好信譽(yù)和科學(xué)的管理促進(jìn)企業(yè)迅速發(fā)展
首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)-FTIR系列-IRE200-IRE-200 膜厚測(cè)試儀
簡要描述：光學(xué)薄膜測(cè)厚儀,IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備，利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析，主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。
產(chǎn)品型號(hào)： 更新時(shí)間：2025-04-27 瀏覽次數(shù)：3290
廠家實(shí)力
Manufacturer Strength
有效保修
Valid Warranty
質(zhì)量保障
Quality Assurance產(chǎn)品中心
PRODUCT CATEGORY相關(guān)文章
RELATED ARTICLES
詳細(xì)介紹
一、概述
IRE-200光學(xué)薄膜測(cè)厚儀是一款超高精度的外延層厚度測(cè)量設(shè)備，利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進(jìn)行快速分析，主要應(yīng)用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測(cè)量。
■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持；
■ 自定義mapping功能；
■ 高檢測(cè)速率：Si標(biāo)準(zhǔn)外延片測(cè)量25點(diǎn)≤3min；
■ 高檢測(cè)精度：≤0.01um 。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1）設(shè)備采用高性能光源模塊，光源穩(wěn)定性好，信噪比高，覆蓋范圍7800-350cm-1。
2）搭配自主研發(fā)算法軟件，可精準(zhǔn)快速地獲取測(cè)量結(jié)果。
3) 搭配自主研發(fā)的mapping運(yùn)動(dòng)臺(tái)，定位精準(zhǔn)、測(cè)量速度快。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
IRE-200廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測(cè)。
SiC EPI量測(cè)案例
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品咨詢
相關(guān)產(chǎn)品
聯(lián)系電話
027-87001728
關(guān)注我們
微信賬號(hào)
掃一掃
手機(jī)瀏覽
Copyright©2025 武漢頤光科技有限公司 版權(quán)所有 備案號(hào)：鄂ICP備17018907號(hào)-2 sitemap.xml 技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系我們